公开/公告号CN100470739C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-03-18
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社半导体能源研究所;
申请/专利号CN200610100797.8
申请日1998-01-20
分类号H01L21/336(20060101);H01L21/20(20060101);H01L21/84(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人梁永
地址 日本神奈川县厚木市
入库时间 2022-08-23 09:02:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/336 授权公告日:20090318 终止日期:20150120 申请日:19980120
专利权的终止
2009-03-18
授权
授权
2007-03-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-01-17
公开
公开
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