法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-06-15
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):D06M 10/00 变更前: 变更后: 申请日:20060927
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2011-06-01
专利权的转移 IPC(主分类):D06M 10/00 变更前: 变更后: 变更前:
专利申请权、专利权的转移
2009-04-08
授权
授权
2007-05-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-03-21
公开
公开
机译: 等离子体产生装置喷嘴,等离子体产生装置,等离子体表面处理装置,等离子体产生方法和等离子体表面处理方法
机译: 以及超高频等离子体产生电极,所构造的等离子体表面处理装置以及通过该电极的等离子体表面处理方法
机译: 高频等离子体产生电极,配置的等离子体表面处理装置和通过该电极的等离子体表面处理方法