具有用于提供涂布溶液的装置的狭缝涂布机

摘要

具有用于提供涂布溶液的装置的狭缝涂布机。一种狭缝涂布机，包括通过利用狭缝喷嘴的涂布方法提供涂布溶液的装置，该装置被构造为最小化涂布溶液的污染，利用过滤功能，并将受控量的光敏溶液提供至狭缝喷嘴。所述狭缝涂布机还包括：工作台，待处理物体安装于其上；狭缝喷嘴单元，其将涂布溶液涂在待处理物体的表面上；以及涂布溶液提供装置，包括存储涂布溶液的存储容器、将所述存储容器中存储的涂布溶液提供至所述狭缝喷嘴单元的泵、以及与所述泵和所述存储容器流体相通的缓冲容器。