一种连熔与中频炉集成法去除光纤石英靶棒杂质的方法

摘要

本发明公开了一种连熔与中频炉集成法去除光纤石英靶棒杂质的方法，可替代目前对石英靶棒二次去除杂质和羟基含量的传统技术，创新将二级连熔炉、中频炉设计为一体应用技术，直接将石英粉体加入连熔炉内生产，并通过高温焙烧、熔融、加入双循环氦气置换气态杂质排放，同时，再通过中频炉二次高温加热处理，加入氦气双循环回流工艺，排放各种金属杂质、非金属杂质、气态杂质的目的，一体式生产和去除石英靶棒杂质与羟基，替代了目前应用的连熔生产石英棒，二次运用真空脱羟炉进行脱羟处理的技术效果，减少了生产环节，达到一次性处理杂质与羟基含量的最佳效果，达到总杂质含量与羟基含量达到≤10ppm，创新技术达到国际领先水平。