具有高逆压电系数的钛酸铋钠基低铅压电薄膜及制备方法

摘要

本发明涉及具有高逆压电系数的钛酸铋钠基低铅压电薄膜及制备方法，该压电薄膜的化学组成为(0.85‑x)Bi0.5Na0.5TiO3–0.15PbTiO3–xBiInO3，其中x为摩尔分数，x＝0～0.03，且不为0，采用金属有机物热分解法制备得到前驱体并涂覆在基片上。与现有技术相比，本发明制备的具有高逆压电系数的钛酸铋钠基低铅压电薄膜具有优异的压电性能，其逆压电系数达123.1皮米/伏。