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一种快速测量表面束缚电荷密度的方法

摘要

本发明公开了一种快速测量表面束缚电荷密度的方法,该方法通过在待测束缚电荷膜层的上下表面上分别设置下电极层和上电极,将下电极层接地,对上电极和下电极层进行电性连接,并在上电极和下电极层之间串联负载,而后通过在待测束缚电荷膜层的上表面靠近上电极的位置设置导电液滴,导电液滴在待测束缚电荷膜层的上表面铺展,与上电极接触时,产生电流回路;而后测定导电液滴接触上电极时电流回路中的电流大小,进而可通过预先构建的计算模型计算出待测束缚电荷膜层的表面束缚电荷密度。通过以上方式,本发明可实现对表面束缚电荷密度的快速测量,且所需设备和具体操作简单,无需施加外电压,成本低廉。

著录项

  • 公开/公告号CN110596476B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-12-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201910876945.2

  • 申请日2019-09-17

  • 分类号G01R29/24(20060101);

  • 代理机构44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司;

  • 代理人张建珍

  • 地址 510006 广东省广州市番禺区外环西路378号华南师范大学华南先进光电子研究院

  • 入库时间 2022-08-23 12:55:39

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