使用具有室温光学系统的发射型显微镜的高灵敏度热辐射探测器

摘要

一种光发射型显微镜，包括通过室温投影光学系统(30)从检测中的器件(14)接收光的低温探测器阵列(16)。包括可移动冷却的光阑(32)以及低温滤光器的冷孔径吸收由该光学系统发出的不需要的热辐射。在一个实施例中，高分辨率CCD相机可以与低温探测器阵列(16)和具有计算机控制的反射镜的相机一起使用，所述计算机控制的反射镜向这两个相机提供发射光。