一种微电子行业废磷酸资源化利用方法

摘要

本发明公开了一种微电子行业废磷酸资源化利用方法，涉及液晶面板、半导体晶圆、集成电路企业电子级废磷酸资源化制备工业级磷酸脲的方法。包含以下步骤：(1)废磷酸与尿素升温反应合成；(2)磷酸脲配置液静态吸附通过活性炭、阳离子交换树脂、阴离子交换树脂；(3)去离子磷酸脲溶液负压蒸发浓缩冷却结晶分离；(4)一次结晶加水升温重溶再冷却重结晶；(5)低温热风干燥重结晶晶体。本发明与现有电子级废磷酸降级使用相比，能够得到高纯度磷酸脲产品，具有较高的工业价值，具有广阔的市场应用前景。本发明全处理过程操作简单、投入试剂廉价、副产废物满足一般生化废水站要求，是电子级废磷酸资源化利用的最优选择。