一种同心锥TEM室场均匀性校准方法

摘要

本申请公开了一种同心锥TEM室场均匀性校准方法，包括：将场强探头放入同心锥TEM室场均匀区中心，记为初始位置；调节TEM室输入频率至下限试验频率，馈入能产生标准场强的恒定前向功率，记录所述初始位置的场强读数和前向功率；保持所述前向功率不变，围绕初始位置，沿不同方向确定第一位置、第二位置、第三位置和第四位置，四个位置形成的区域大小，能够将场强探头包围，且与初始位置场强相差绝对值均不大于设定范围；步进调节输入频率至试验频率上限，重复上述步骤，得到同心锥TEM室场均匀区。本申请填补了同心锥TEM室场均匀性校准方法空白，能够快速、准确地进行场均匀性校准。