设有偏置的校准电阻器的压阻式压力传感器

摘要

压阻式压力传感器(1)包括：刚性平坦支撑件(2)；具有暴露于流体压力的平坦外部面(4)和与支撑件(2)的平坦内部面(7)合作来界定容纳了膜(3)的变形的室(9)的平坦内部面(5)的平坦柔性膜(3)；电测量电路，其包括施加在膜(3)的平坦内部面(5)上的电阻惠斯登电桥(10)，用于检测膜(3)的变形；以及至少一个电阻器(Rc)，用于当流体处于参考压力时校准输出信号的值，校准电阻器(Rc)被施加在膜(3)的平坦内部面(5)上。