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公开/公告号CN112098438B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 西安交通大学;
申请/专利号CN202010719387.1
发明设计人 康永锋;常飞浩;胡航锋;赵静宜;
申请日2020-07-23
分类号G01N23/00(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人陈翠兰
地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
入库时间 2022-08-23 12:49:17
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