基于法拉第旋光效应的入射光原路返回的方法

摘要

本发明公开了一种基于法拉第旋光效应的入射光原路返回的方法。一束振动方向垂直于纸面的线偏振光经过能够旋光45°的法拉第旋光器，其偏振方向改变45°，入射至偏振分光镜，经偏振分光镜和1/4波晶片至装在被测物体上的测量平面镜，再反射至角锥棱镜后，利用角锥棱镜的逆反射特性，平行出射返回至原测量平面镜，经测量平面镜反射后再次透过1/4波晶片，由偏振分光镜反射后垂直入射到参考平面镜，由于光路的可逆和器件的偏振特性，垂直入射到参考平面镜的激光将按原路返回，最后经法拉第旋光器透射后成为振动方向平行于纸面的线偏振光，实现了光路的原路返回。可应用于光路原路返回的测量仪器。本发明适用于纳米、微光机电、集成电路芯片制造和生物技术等测量领域。