二维光扫描镜装置及其制造方法、二维光扫描装置以及图像投影装置

摘要

二维光扫描镜装置及其制造方法、二维光扫描装置以及图像投影装置。二维光扫描镜装置具有：基板；以能够进行二维光扫描的方式支承在所述基板上的可动镜部；设置于所述可动镜部的硬质磁性薄膜；以及磁场产生装置，其至少包含驱动所述可动镜部的交流磁场产生装置，其中，所述硬质磁性薄膜在膜平面方向上具有磁化方向，所述磁场产生装置产生的磁场与所述硬质磁性薄膜的矫顽力的比为0.2以下。