一种高频低介低损耗微晶玻璃/陶瓷系LTCC基板材料及其制备方法

摘要

本发明公开一种高频低介低损耗微晶玻璃/陶瓷系LTCC基板材料及其制备方法，所述LTCC基板材料主要由MO‑BAS微晶玻璃和氧化铝组成；所述MO‑BAS微晶玻璃主要由MO、BaO、Al2O3、SiO2、B2O3和添加剂组成；MO‑BAS微晶玻璃和氧化铝的质量比为(40～55)：(60～45)；MO、BaO、Al2O3、SiO2、B2O3和添加剂的摩尔比为(0～8)：(16～24)：12：50：13：1。制备方法包括制备MO‑BAS玻璃渣，球磨成粉；然后与氧化铝混合、造粒、压制、排胶和烧结，得到LTCC基板材料。与现有LTCC基板材料相比，本发明的LTCC基板材料同时具备烧结温度低、高频介电常数低、高频介电损耗低、机械强度高等优点。