晶体单色器水冷结构和晶体单色器

摘要

本发明提供了一种晶体单色器水冷结构和晶体单色器，包括冷却体、冷却体盖板以及冷却水连接结构；所述冷却体包括冷却体主体，冷却体盖板包括盖板主体，冷却体主体、盖板主体上均设置有环形闭环真空槽、冷却水循环通道槽，冷却体主体、盖板主体连接后，冷却体主体上的环形闭环真空槽与盖板主体上的环形闭环真空槽对应连接形成环形闭环真空通道，冷却体主体上的冷却水循环通道槽与盖板主体上的冷却水循环通道槽对应连接形成冷却水循环通道；冷却水循环通道位于环形闭环真空通道的包围圈内；所述冷却水连接结构连接冷却体盖板。本发明结构简单合理，能够在超高真空环境下对晶体进行水冷，且能够避免一旦冷却水泄漏会破坏及污染单色器腔体环境的问题。