一种基于高压气体辅助CO2激光熔融的微透镜制造方法

摘要

本专利涉及光学材料加工设备技术领域，具体是一种基于高压气体辅助CO2激光熔融的微透镜制造方法，包括以下步骤：步骤一：制造预形体，利用机械加工的方法制造预形体；步骤二：CO2激光重塑，利用CO2激光器发射CO2激光至预形体表面使之产生高温区域，且此温度高于材料熔化温度或软化温度，后利用喷嘴喷射高压气体至软化区域使之重新塑形；步骤三：多区域重塑，CO2激光焦点、喷嘴保持运动一致，且与光学材料之间产生直线、螺旋、回转、锯齿振动等相对运动，光学材料与CO2激光焦点、喷嘴产生相对三维运动，对不同区域光学材料高温熔化与塑形。本发明利用激光熔融的快速成形性，并辅以高压气体成形，实现光学材料微透镜的高效加工。