一种用于ATE测试的精密高压微小漏电流测量模块

摘要

本发明公开了一种用于ATE测试的精密高压微小漏电流测量模块，包括：I‑V转换电路，其第一输入端连接ATE测试机的可编程高压输出模块，其第二输入端连接DUT，其输出端连接差分放大电路，其正负电源端连接悬浮电源电路，I‑V转换电路用于为DUT提供高压偏置并将流过DUT的电流转换为电压；差分放大电路，其第一输入端与I‑V转换电路的输出端连接，其第二输入端与所述可编程高压输出模块连接，其输出端连接ATE的模拟测量模块；悬浮电源电路，其两个输出端分别连接I‑V转换电路的正负电源端，为I‑V转换电路提供悬浮电压，其悬浮地节点连接所述可编程高压输出模块。可以提高高压微小漏电流的测量能力，提高抗干扰能力。