一种抽真空作业真空度实时监测装置

摘要

本发明公开了一种抽真空作业真空度实时监测装置。为了克服现有技术无法精确地实时监测气室的真空度问题；本发明包括转接头，GIS气室直接通过转接头与真空泵机组相连；标准气室专用接头，用于连接GIS气室的出气口和真空泵机组的真空管路；电子真空表，设置在转接头上，用于监测GIS气室的真空度。监测装置替代了原有的通过真空泵机组上的真空表观察气室内部压力的方式，消除了由管道压差带来的测量误差，减少了不必要的抽真空时间，提高了抽真空作业的效率。