射频微波探针的S参数提取方法及系统、存储介质及终端

摘要

本发明提供一种射频微波探针的S参数提取方法及系统、存储介质及终端，包括以下步骤：获取三维电磁场仿真得到的所述在片校准件的开路、短路、负载匹配的反射系数和直通的传输系数的仿真值；获取双端口S参数校准得到的所述在片校准件的开路、短路、负载匹配的反射系数和直通的传输系数的实测值；计算仿真值与实测值的误差值；若误差值大于预设阈值，获取仿真参数重置后获取的仿真值，直至误差值不大于预设阈值；对仿真值进行拟合，以获取在片校准件的电路模型参数；基于电路模型参数和OSL算法获取射频微波探针的S参数。本发明的射频微波探针的S参数提取方法及系统、存储介质及终端能够实现S参数的精准提取，有效提高了射频微波的在片测试精度。