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扭矩检测器及扭矩检测器的制造方法

摘要

本发明提供一种扭矩检测器及扭矩检测器的制造方法。本发明包括:硅层(11);电阻计(13),形成于硅层(11);狭缝部(111),形成于硅层(11),使所述硅层(11)的形成有电阻计(13)的部位为本地部(112);以及绝缘层(12),与硅层(11)接合。

著录项

  • 公开/公告号CN111033200B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 阿自倍尓株式会社;

    申请/专利号CN201880052221.X

  • 发明设计人 瀬戸祐希;石仓义之;小笠原里奈;

    申请日2018-07-09

  • 分类号G01L3/10(20060101);G01L3/14(20060101);

  • 代理机构11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司;

  • 代理人杨贝贝;臧建明

  • 地址 日本东京千代田区丸之内2-7-3(邮递区号:100-8310)

  • 入库时间 2022-08-23 12:35:26

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