一种MEMS准零刚度的弹簧振子结构

摘要

本发明公开了一种MEMS准零刚度的弹簧振子结构，包括：多组对称布置的弹簧单元，连接梁和检验质量；弹簧单元在重力作用下受到检验质量的重力产生的压应力和拉应力的作用后刚度接近为零；连接梁用于增大弹簧振子的交叉轴刚度。本发明中预应力由检验质量本身的重力提供，无需额外执行机，因此结构较简单。本发明中弹簧振子振动方向与预应力方向垂直，可用于加速度水平分量测量或者水平震动信号隔离。本发明通过多组受拉应力悬臂梁、受压应力悬臂梁串、并联构成全对称的结构形式，具有较好的交叉轴刚度比，建模、分析和设计较为简单。