磁耦式精密定位滑台旋转解耦型无杆锁紧气缸及控制方法

摘要

一种磁耦式精密定位滑台旋转解耦型无杆锁紧气缸及控制方法，为解决当前无杆锁紧气缸定位精度低、结构和控制系统复杂等技术问题。本发明由磁耦式无杆气缸、限位螺杆、超声波锁紧台、锁紧台固定螺栓、固定螺母和精密定位滑台组成，本发明针对磁耦式无杆气缸的锁紧定位技术，采用外置式超声波锁紧台与限位螺杆的螺纹自锁实现精密定位滑台在任意位置的精确锁紧定位，以提高磁耦式无杆气缸的定位精度，通过压电陶瓷片在超声波控制系统驱动下的减摩效应，实现精密定位滑台的伸缩运动，具有结构简单、锁紧定位精度高、易于控制等优点，在半导体加工、自动测量及控制、机器人驱动等技术领域中具有良好的工程应用价值。