一种氢同位素结晶生长高度实时测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种氢同位素结晶生长高度实时测量装置及方法，其中，测量方法包括：(1)在氢同位素结晶生长最初阶段，控制电动五维调整架进行Z方向调节完成对焦，并控制电动五维调整架在XY平面内移动，直到所需观察记录的区域位于系统视场中心为止；(2)通过电动五维调整架调整干涉测量系统的角度，得到合适的干涉图像；在开始监控之前，选择结晶初始位置背景上一点作为参考点，用于区域分割的基准，设定好监控时间间隔后，开始进行测量；(3)在监控时间节点，使用同步移相干涉测量方法，实时精确地计算出该时刻监控点的相位ΔΦ(t)及监控点绝对高度HDT(x,y)。利用本发明，可以有效且高精度的对氢同位素结晶生长高度进行实时计算。