激光参数监测与矫正系统和方法

摘要

本发明公开了一种激光参数监测与矫正系统和方法，该系统包括：激光器系统、分束镜组件、检测矫正组件、信号处理电路和上位机；激光依次通过第一分束镜、第二分束镜、功率矫正单元和第三分束镜，再由第一电动镜架和第二电动镜架反射到第四分束镜；第一分束镜反射光被光电二极管接收，第二分束镜反射的光入射至光束质量分析仪，第三分束镜反射的光入射至功率计，第四分束镜透射的光入射至光束指向探测器单元，第四分束镜反射的光经衍射元件到达激光加工数控机床；上位机控制激光器系统的重复频率、功率矫正单元的实时功率及调整光束指向。通过本发明的技术方案，实现了对激光参数的实时监测与矫正，自动化程度高、操作简单，结构紧凑。