一种提高半导体激光器微小角度测量系统精度的方法

摘要

本发明属于精密测量领域，公开了一种提高半导体激光器微小角度测量系统精度的方法。克服在运用四象限光电探测器进行微小角度精密测量中，四象限光电探测器上的椭圆光斑对测量结果精度的影响。通过调整四象限光电探测器和聚焦透镜焦平面之间的距离来实现将椭圆光斑整形为标准的圆形光斑，最后对光斑整形中产生的离焦量误差进行补偿，从而提高微小角度测量的精度。同时避免了建立用于提高测量精度的误差补偿模型，简化测量系统的数据处理过程。