用于光刻的无抖动自适应且鲁棒的剂量控制的方法

摘要

公开了一种用于控制由激光光源生成的辐射的剂量的方法和装置。在一个实施例中，剂量控制器接收输出能量与预期输出能量的偏差的测量或“能量西格玛”，并且接收由正在被处理的物品接收的剂量与期望剂量的误差的标准偏差。能量西格玛与剂量误差的标准偏差的比率被计算，并且激光器控制器基于所计算的比率来调整控制器增益，以便调整由控制器确定的电压并且因而调整输出电压，并且因此调整到物品的剂量。这是对现有技术的改进，在现有技术中，基于向激光器发送电压抖动并且仅在一个频率上将电压抖动与其在能量中的响应相互关联，调整控制器增益。