具有四周介质隔离杯结构的压力传感器及其制备方法

摘要

本发明提供一种具有四周介质隔离杯结构的压力传感器及其制备方法，制备方法包括：提供衬底，在衬底上形成包井缓冲层，在包井缓冲层中形成压敏电阻层，对压敏电阻层进行刻蚀，得到压敏电阻以及环绕压敏电阻设置的介质隔离环，在压敏电阻的四周形成介质隔离杯结构，在包井缓冲层和压敏电阻上形成第一绝缘钝化层，以及形成贯穿第一绝缘钝化层的金属化过孔，在第一绝缘钝化层上形成金属引线，金属引线通过金属化过孔与压敏电阻电连接，以制备得到压力传感器。本发明能够缓冲外界环境变化带来的影响，大大提高器件的可靠性。另外，本发明可以有效减少电流泄漏，提高可靠性。同时，本发明可以使该结构在180℃以上的高温稳定工作，成本低，可靠性高。