一种便于位置校准的堆叠结构腔体设备

摘要

本发明提供一种便于位置校准的堆叠结构腔体设备，涉及半导体高端设备制造技术领域。包括上下堆叠结构腔体、隔层台盘、台盘密封块、底层台盘、校准治具块和校准杆销，台盘密封块可拆卸地安装在台盘通孔内，台盘密封块上开设有密封块校准孔，底层台盘上开设有台盘校准孔，校准治具块可替换台盘密封块安装在台盘通孔内，校准治具块上开设有治具块校准孔，校准杆销用于插入第一校准孔和密封块校准孔、以校准第一机械抓手的位置，还用于插入治具块校准孔、第二校准孔和台盘校准孔、以校准第二机械抓手的位置。这样，利用校准杆销贯穿隔层台盘，且对腔室的性能不产生影响，再结合校准治具块实现对非顶层腔中的机械抓手直接校准，操作方便、且精度高。