公开/公告号CN108269754B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-14
原文格式PDF
申请/专利权人 京东方科技集团股份有限公司;
申请/专利号CN201810103590.9
申请日2018-02-01
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/673(20060101);H01L21/02(20060101);H01L21/683(20060101);
代理机构11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人黄德海
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
入库时间 2022-08-23 12:29:01
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