一种水基超声振动耦合磁场辅助的激光加工装置及方法

摘要

本发明提供了一种水基超声振动耦合磁场辅助的激光加工装置，包括机床底座、聚焦装置和龙门立柱，所述机床底座上放置加工台，所述加工台上装夹工件，所述龙门立柱可移动安装在加工台两侧；所述龙门立柱的横梁上设有可移动的工作滑块，所述工作滑块上安装聚焦装置，用于产生激光；还包括磁场辅助单元和水基超声振动辅助单元，所述磁场辅助单元安装工作滑块上，且位于聚焦装置旁，用于在激光焦点附近产生磁场；所述水基超声振动辅助单元位于工件底部，用于产生超声振动。本发明利用水基超声振动和磁场的耦合作用，有效减弱等离子体对入射激光束的屏蔽效应和散射作用，提高切割厚板的熔深与激光加工盲孔的孔深，同时加速熔渣去除，有效消减残余应力。