一种基于聚焦评价算法的结构光微纳三维形貌测量方法

摘要

本发明是一种基于聚焦评价算法的结构光微纳三维形貌测量方法，传统的基于聚焦评价函数的三维测量方法具有测量系统简单、无损伤等特点，但由于其本质是根据物体本身纹理信息对聚焦程度进行判断，对于表面结构光滑、纹理不足的物体难以测量。本发明提出了一种结合结构光照明和聚焦评价函数的三维形貌轮廓术，可以实现对光滑和粗糙表面共存的物体测量。在测量系统中，将DMD产生的图案投影到物体表面，纵向扫描物体获得待处理图片，对于一个像素点而言，在图像序列中表现为从模糊到清晰再到模糊的过程，其中使用聚焦评价算法定位像素点成像最清晰的图片位置，再结合曲线拟合算法提取精确聚焦位置，遍历所有像素点即可获取物体三维形貌。