一种提高扫描电镜用X射线能谱仪空间分辨率的方法

摘要

本发明公开了一种提高扫描电镜用X射线能谱仪空间分辨率的方法。取颗粒或纤维状样品掺入到包埋剂及其固化剂中，搅拌，倒入硅胶模具，固化，待其冷却后即可脱模取出；切割厚度为10～500nm的样品薄片，然后转移至铜网上；将载有样品薄片的铜网固定在铜网支架上，所述铜网支架与铜网边沿接触固定；将晶体探测器推至电镜的物镜极靴附近使立体角增大至0.01～0.05sr，调整相关参数，然后进行能谱测试。本发明对样品厚度的适当减薄、各类测试参数恰当设置以及其他处理措施的协同作用下才能最终极大的提高X射线能谱测试中的空间分辨率，为准确的实验测试结果提供依据。