公开/公告号CN110764463B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-03
原文格式PDF
申请/专利权人 西门子(中国)有限公司;
申请/专利号CN201810843979.7
发明设计人 唐文;
申请日2018-07-27
分类号G05B19/406(20060101);
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人赵冬梅
地址 100102 北京市朝阳区望京中环南路7号
入库时间 2022-08-23 12:25:06
机译: 初始化超声波监测系统的方法,包括多个超声传感器和包括多个超声传感器的超声波监测系统
机译: 管型透镜,包括管型透镜的光学发射光谱(OES)设备,包括OES设备的等离子体监测系统以及通过使用等离子体监测系统制造半导体装置的方法
机译: 一种包括监测系统的涡轮机,该监测系统包括用于接合涡轮机的保护功能的模块和监测方法