稀土金属掺杂石英玻璃及其生产方法

摘要

本发明公开了稀土金属掺杂石英玻璃及其生产方法。在用于生产稀土金属掺杂石英玻璃的已知方法中，提供了以下方法步骤：(a)提供稀土金属掺杂石英玻璃的坯料，和(b)通过在加热区中逐区地软化所述坯料和通过沿旋转轴线扭转被软化的区域来均化所述坯料。然而，一些稀土金属表现出石英玻璃的变色，这暗示化学组成中的不可预见的和不期望的变化或可能是掺杂剂的不均匀分布。为了避免这种缺点，并且为了展示确保生产具有可再现的特性的稀土金属掺杂石英玻璃的改进方法，本发明提出在根据方法步骤(b)的均化过程中，在起氧化作用的等离子体或中性等离子体的作用下软化所述坯料。