公开/公告号CN109659386B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201811486995.1
申请日2018-12-06
分类号H01L31/09(20060101);H01L31/0232(20140101);H01L31/0352(20060101);
代理机构31233 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人黄志达
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 12:20:38
机译: 超导纳米线单光子探测器及其制造方法
机译: 超导纳米线单光子探测器的互补金属氧化物半导体兼容图案
机译: 超导纳米线单光子探测器的互补金属氧化物半导体兼容图案