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亚波长金属光栅结构的石墨烯光电探测器

摘要

亚波长金属光栅结构的石墨烯光电探测器,涉及光通信技术领域,其包括衬底和吸收层,吸收层包括附着在衬底上的单层的石墨烯,在石墨烯上方设有缓冲层,缓冲层上设有亚波长金属光栅结构,亚波长金属光栅结构的光栅周期、狭缝宽度和光栅高度设定为可使入射光在光栅狭缝近场产生表面等离子体共振的尺寸范围内,缓冲层用于促进石墨烯对电场的吸收。本发明与传统结构相比,可以明显增强石墨烯对光的吸收,提高光电探测器的响应度。

著录项

  • 公开/公告号CN110137273B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-08-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 湖南工学院;

    申请/专利号CN201910425821.2

  • 发明设计人 杜鸣笛;贾雅琼;洪俊;李祖林;

    申请日2019-05-21

  • 分类号H01L31/0216(20140101);H01L31/09(20060101);H01L31/18(20060101);

  • 代理机构43231 衡阳雁城专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人龙腾;黄丽

  • 地址 421000 湖南省衡阳市珠晖区衡花路18号

  • 入库时间 2022-08-23 12:20:32

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