一种液氦温区微型节流制冷机

摘要

本发明提供了一种液氦温区微型节流制冷机，具有三种结构形式，第一种结构的液氦温区微型节流制冷机具有五层基片，第一基片作为盖板，第二基片和第三基片构成一级制冷循环器和二级制冷循环器，第四基片和第五基片构成三级制冷循环器；第二种结构的液氦温区微型节流制冷机具有五层基片，第一基片作为盖板，第二基片和第三基片构成一级制冷循环器，第四基片和第五基片构成二级制冷循环器和三级制冷循环器；第三种结构的液氦温区微型节流制冷机具有三层基片，第一基片作为盖板，第二基片和第三基片构成一级制冷循环器二级制冷循环器和三级制冷循环器。本发明将多级工质的通道布置在同一基片上，制冷机的结构更紧凑，可节约加工成本。