一种二氧化钒基复合薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种二氧化钒基复合薄膜的制备方法，包括以下步骤：以金属钒靶和氧化锌陶瓷靶溅射靶材，氩气为反应气体，在石英玻璃上沉积得到掺有氧化锌的钒膜；所得掺有氧化锌的钒膜放入退火炉中退火处理得到二氧化钒基复合薄膜。本发明磁控溅射过程中不需要对基片台进行加热处理，溅射过程简单，并将制备掺有氧化锌的钒膜与制备二氧化钒基复合薄膜过程分开处理，使得制备过程更易操控，后续的退火过程操作简单，不需要通入其他气体，符合大规模生产的要求。同时在保证二氧化钒一定量的基础上有钒酸锌生成，这极大的增加了薄膜的可见光透过率，且太阳光调制效率还略有提高，具有广阔的应用前景。