X射线荧光(XRF)光谱分析系统和方法

摘要

本申请提供一种X射线荧光(XRF)光谱分析系统和方法，所述系统包括至少一个X射线光源(1)、至少一个探测器(4)和至少一个衍射光学部件(3)，所述衍射光学部件收集所述X射线光源发出的原级X射线，所述原级X射线经所述衍射光学部件衍射后得到单波长X射线，所述单波长X射线用以激发被测样品(5)中的被测元素发射荧光X射线，所述探测器收集并分析所述荧光X射线；所述探测器收集的光线中还包括，单波长X射线被被测样品散射而产生的散射线；所述原级X射线、所述单波长X射线和所述荧光X射线构成单波长偏振消光光路，使所述散射线偏振消光，用以降低或消除单波长X射线在被测样品中散射所引起的背景强度。