公开/公告号CN100444381C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-12-17
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海技术物理研究所;
申请/专利号CN200610117106.5
申请日2006-10-13
分类号H01L25/00(20060101);H01L25/18(20060101);H01L27/14(20060101);H01L21/00(20060101);G01J1/42(20060101);G02B3/00(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人田申荣
地址 200083 上海市玉田路500号
入库时间 2022-08-23 09:01:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-12-17
授权
授权
2007-05-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-03-21
公开
公开
机译: Avalanche光电探测器集成微透镜,能够形成具有不同折射率的具有折射层的微透镜
机译: 基于间距可变的微透镜阵列,间距可变的微透镜阵列和显示屏幕的集成成像3D显示设备
机译: 使用化合物半导体的选择性刻蚀制造微透镜和微透镜集成光电器件的方法