一种具有可见光波段的深紫外LED器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种具有可见光波段的深紫外LED器件及其制备方法，所述具有可见光波段的深紫外LED器件由下至上依次设置有蓝宝石衬底、AlN本征层、n型AlGaN层、电流扩展层、深紫外波段量子阱有源层、可见波段量子阱有源层、电子阻挡层、p型AlGaN注入层、p型GaN接触层、DBR层、p电极以及n电极。本发明通过在外延结构中单片集成基于AlGaN材料的深紫外波段量子阱与基于InGaN材料的可见光波段的量子阱，从而真正实现单颗器件既有深紫外波段发光又有可见光波段发光，并简化了双色灯珠器件的制作工序，降低了双色灯珠器件制作成本。