一种提高直线度测量灵敏度的方法与装置

摘要

本发明公开了属于光电检测技术领域的一种提高直线度测量灵敏度的方法与装置。由固定单元、移动单元和计算机三部分组成的激光测量系统。包括激光发射器、偏光分光器、λ/4波片、反射器、光电接收单元以及信号处理组成的稳定准直激光测量系统，通过光学器件设置测量光线多次经过移动靶镜，使其测量灵敏度成倍得到放大。同时在探测器前面设置透镜组，使系统测量灵敏度得到进一步放大。实现了直线导轨高灵敏度二维直线度实时测量。