一种锥形光纤结合纳米线的等离激元探针及其工作方法

摘要

本发明公开了一种锥形光纤结合纳米线的等离激元探针及其工作方法，该探针包括锥形探针纤芯、金属薄膜覆盖层、环形狭缝等离激元增强结构和纳米线，金属薄膜覆盖层均匀分布在锥形探针纤芯的外表面，环形狭缝等离激元增强结构刻蚀在金属薄膜覆盖层上，纳米线生长或组装在金属薄膜覆盖层针尖位置。本发明利用等离激元增强结构，能够在针尖实现更大局域场增强，具有更高的分辨率和信号探测灵敏度，同时结合大长径比纳米线结构，能够实现表面和高深宽比复杂三维结构形貌和光学信息测量。在纳米极限加工、光谱分析和超分辨成像等领域具有广阔的应用前景。