一种实现透明可拉伸电极超高精度图案化的方法

摘要

本发明公开了一种实现透明可拉伸电极超高精度图案化的方法。该方法包括衬底自组装修饰；在修饰过的衬底上制备透明的PEDOT:PSS/SWCNTs复合电极；复合导电薄膜通过光刻实现图案化；氧等离子体刻蚀；衬底再次修饰；旋涂透明的弹性聚合物和聚合物的固化；将透明可拉伸电极从衬底上剥离等步骤。该方法采用全溶液法，实现了透明可拉伸导电薄膜的制备及其图案化；操作简单，成本低；可拉伸电极图案化精确度高，可以实现复杂图案，满足其在不同电子领域上的应用需求。