在高分辨率测量系统中测量波长变化的方法和设备

摘要

本发明公开了一种在高分辨率测量系统中测量波长变化的方法和设备。两个光束以不同角度穿过基本相同的滤光器，产生两个不同的与功率和/或温度变化类似地动作的输出信号。两个光束经过同一滤光器的两个部分进行滤光。可在滤光器上安装衍射光栅，用来将入射辐射分裂成第一和第二光束。然后光束以不同的角度穿过滤光器，产生两个输出信号，可结合用来补偿共模误差和功率变化。可获得极小的尺寸和高分辨率。还可利用一个或多个检测器。基于直接的温度测量或基于由经过具有与前两个光束使用的滤光器不同温度依存性的滤光器的其它两个光束导出的输出，也可补偿滤光器的温度灵敏度。