一种电弧离子镀低温沉积高质量装饰薄膜的设备和方法

摘要

一种电弧离子镀低温沉积高质量装饰薄膜的设备和方法属于金属材料表面改性技术领域。在电弧离子镀中采用双电磁场结构的阴极弧源和脉冲方式的负偏压，利用电磁场过滤减少大颗粒的数量，并通过脉冲偏压控制沉积温度，在金属表面，尤其是低熔点的铜锌铝合金材料表面低温沉积高质量的铬、锆、钛、铝及其合金或者其氮化物、碳化物薄膜，即能满足装饰性要求，又能满足耐磨抗蚀性能要求。与传统结构的电弧离子镀设备和方法相比，不明显降低沉积效率，但大幅度提高沉积质量，尤其是薄膜的表面质量，而且能够将沉积温度控制在低熔点合金可以接受装饰镀膜的程度。适用于各种金属及低熔点合金制品的装饰性镀膜领域。