通过光学辐射的方式在透明物质中制造切面

摘要

本发明公开了一种用于在透明物质中制造切面的处理设备，包括：激光装置，适于通过光学辐射方式在透明物质中产生切面，且包括：光学装置，其将光学辐射沿着光轴聚焦到位于物质中的焦点上，并且在物质中具有像场，焦点位于像场中；用于横向于光轴和沿着光轴移动焦点的位置的焦点调节装置，其包括用于沿着光轴移动焦点的位置的双台z扫描器，双台z扫描器包括实施慢长行程焦点移位的慢台和实施快速短行程焦点移位的快台，和控制装置，其连接至激光装置和控制激光装置，使得焦点调节装置沿着路径移动光学辐射的焦点在物质中的位置，其中控制装置控制激光装置，使得切面大体平行于光轴延伸，且在沿着光轴的投影中是曲线，曲线具有最大范围。