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自居中底座加热器

摘要

本发明涉及自居中底座加热器。本发明提供了一种底座,所述底座包括:主体;加热器,嵌入在主体中;支撑凹槽,在主体内形成,具有安置在第一平面中的表面;周边表面,安置在第二平面中,包围支撑凹槽;以及多个定心凸片,定位在支撑凹槽与周边表面之间,每个定心凸片具有安置在第三平面中的表面,第三平面在第一平面和第二平面两者之间。

著录项

  • 公开/公告号CN107460451B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-07-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 应用材料公司;

    申请/专利号CN201710307714.0

  • 申请日2017-05-04

  • 分类号C23C16/46(20060101);C23C14/50(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人侯颖媖

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 12:05:38

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