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公开/公告号CN107460451B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201710307714.0
发明设计人 S·H·金;张宇星;M·嘉德瑞;S·巴录佳;
申请日2017-05-04
分类号C23C16/46(20060101);C23C14/50(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 12:05:38
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