公开/公告号CN109738358B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳达闼科技控股有限公司;
申请/专利号CN201811624710.6
申请日2018-12-28
分类号G01N21/01(20060101);
代理机构44341 深圳市爱迪森知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人何婷
地址 518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)
入库时间 2022-08-23 12:05:11
机译: 外国物质信息检测方法,外国物质信息检测设备,光学系统,曝光设备和设备制造方法
机译: 光学物质检测装置的控制方法,装置和光学物质检测装置
机译: 控制光学物质检测装置的方法,光学物质检测装置和计算机可读存储介质