一种一体化高精度的柔性温度传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种一体化高精度的柔性温度传感器，属于柔性传感器领域，包括柔性衬底，所述柔性衬底上下表面对称设置有凸台，所述凸台的高度为25‑35μm，所述柔性衬底上表面的凸台上设置有温度敏感单元，所述柔性衬底下表面的凸台上设置有温度补偿单元，所述温度敏感单元和温度补偿单元串联，本发明能够有效的减少柔性衬底形变带来的影响，提高柔性传感器的精度。